新能源制造设备
臭氧气体输送系统
应用领域:半导体、光伏
技术特点:精准浓度检测、流量压力控制、模块化设计
功能:多通道系统、独立输出及控制
采用高浓度、超纯净的臭氧生成技术，拥有精准的臭氧浓度检测、流量、压力控制和稳定的电源以及安全防护等功能。可配备多组发生器形成多通道系统，具有独立输出及控制功能。
产品信息
公司档案页基本参数
| 应用领域 | 半导体、光伏 |
| 技术特点 | 精准浓度检测、流量压力控制、模块化设计 |
| 功能 | 多通道系统、独立输出及控制 |
数据来源: Tekx 新能源光储充供应链库 · 产品信息仅供参考