新能源制造设备
半导体级超纯臭氧气体发生器
应用领域:半导体、光伏
技术特点:高浓度、超纯净、深度精细工艺
应用场景:CVD/ALD薄膜、氧化物生长、光刻胶去除
采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术，臭氧被电子工业用于形成CVD和ALD薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。
产品信息
公司档案页基本参数
| 应用领域 | 半导体、光伏 |
| 技术特点 | 高浓度、超纯净、深度精细工艺 |
| 应用场景 | CVD/ALD薄膜、氧化物生长、光刻胶去除 |
数据来源: Tekx 新能源光储充供应链库 · 产品信息仅供参考