新能源制造设备
晶圆传输系统
型号: GZ-WT series
适用晶圆尺寸:4-12 寸inches
传输速度:0-2m/sm/s
定位精度:±1μmμm
洁净度等级:Class 10-100
机械手类型:SCARA/并联
晶圆传输系统，适用于半导体和光伏行业晶圆搬运场景
产品信息
公司档案页基本参数
| 适用晶圆尺寸 | 4-12 寸inches |
| 传输速度 | 0-2m/sm/s |
| 定位精度 | ±1μmμm |
| 洁净度等级 | Class 10-100 |
| 机械手类型 | SCARA/并联 |
数据来源: Tekx 新能源光储充供应链库 · 产品信息仅供参考